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低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
低温等离子体工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易是污染物分子高 效分解且处理能耗低等特点，是目前国内外大气污染治理中***富有前景、***行之有效的技术方法之一，其使用和推 广前景广阔，为工业领域voc类有机废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。
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